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应用原理:
在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中,空间中80%以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽,这类残余气体在高真空状态下,抽取难度大、速度慢,而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件,深冷机可有效解决这类问题,在真空度 10-2至 10-8 pa 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,提高真空度、提高产品品质,加快抽速提高生产效率。
17、成本回收时间短
真空深冷机型号规格:
型号 LC-1100D12 LC-1100D16 LC-1100D16L LC-1100D18 LC-1100D18L 功率(KW) 10 14 14 18 18 *大制冷量(W)(-100℃) 2000 3000 3000 4000 4000 电源 380V,50HZ 抽速L/S 149200 238200 238200 372500 282000 预冷时间(min) 30 除霜时间(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤4 ≤4 再降温时间(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 低温管表面积(㎡) 1 1.8 1.5 2.5 2 低温管规格 20m 38m 双路15m 50m 双路20m 冷却方式 水冷,水温≤30℃ 冷水流量(t/h) 1.6 2.5 2.5 3 3 冷水接口尺寸(mm) 16 16 16 19 19 需冷水机功率(HP) 5 8 8 10 10 适用油泵直径(mm) ≤800 ≤900 ≤600 1000或1200 ≤800 适用真空腔室直径(mm) ≤1300 ≤1500 ≤1000 ≤1800 ≤1500 真空深冷机适用领域: 1半导体 2太阳能薄膜制程 3光纤市场 4平板显示 5装饰镀膜、卷绕镀膜、光学镀膜